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1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统 河南高温管式电炉

1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统 河南高温管式电炉
发布时间:2021-06-03 16:10:14

产品用途:

产品专业性:

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

 

产品组成:

PECVD系统配置:

1.1200度开启式双温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(可选配中真空或高真空)  

 

产品特点:

生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。

 

天津中环电炉股份有限公司
联系人:黄女士
电话:022-26980130 
手机:13652198318        
 QQ: 2258734449
邮箱: ctjzh2828@126.com
网址: http://www.ctjzh.com/