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天津中环电炉股份有限公司

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河南高温箱式电炉 河南高温管式电炉制造公司

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发布时间:2021-06-03 16:09:58

产品用途

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

产品组成

PECVD系统配置;

1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(单独购买)

产品特点

电源范围广;温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

系统名称

集成型PECVD系统

1200℃小型PECVD系统

系统型号

PECVD-12IH-500A

PECVD-12IH-4Z/G

控制方式

液晶屏微PLC控制系统

手动

最高温度

1200

加热区长度

200mm

恒温区长度

100mm

温区

单温区

石英管管径

Φ60mm

Φ50mm

额定功率

1.2Kw

2Kw

额定电压

220V

滑动方式及距离

自动滑动;200mm

手动滑动;200mm

温度控制

30段程序控温

50段程序控温

控制精度

±1

炉管最高工作温度

1200

气路法兰

采用多环密封技术卡箍快速连接

排风冷却装置

先进的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到50℃时,

排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。

气体控制方式

质量流量计(按键式)

气路数量

2路(2-4路)

4路(可根据具体需要选配气路数量)

流量范围

0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定

精度

±1%F.S

响应时间

1sec

工作温度(流量计)

20-120

工作压力

进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)

进气方式

采用防倒流设计

规格

中真空(集成型请单独购买)

系统真空范围

10Pa-100Pa

天津中环电炉股份有限公司
联系人:黄女士
电话:022-26980130 
手机:13652198318        
 QQ: 2258734449
邮箱: ctjzh2828@126.com
网址: http://www.ctjzh.com/